采用磁感应原理时,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小,来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度。覆层越厚,则磁阻越大,磁通越小。利用磁感应原理的测厚仪,原则上可以有导磁基体上的非导磁覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果覆层材料也有磁性,则要求与基材的导磁率之差足够大(如钢上镀镍)。
当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时,仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品采用指针式表头,测量感应电动势的大小,仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。一些电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术,利用磁阻来调制测量信号。还采用独特设计的集成电路,引入微机,使测量精度和重现性有了大幅度的提高(几乎达一个数量级)。现代的磁感应测厚仪,分辨率达到0.1um,允许误差达1%,量程达10mm。
线扫描膜厚仪特点
采用线扫描方式检测整面薄膜
硬件·软件均为创新设计
作为专业膜厚测定厂商,提供多种支援
实现高精度测量
实现高速测量
不受偏差影响
可对应宽幅样品(TD方向-大可测量10m)
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http://www.chem17.com/st440987/erlist_2100515.html