工业园区废水处理高级氧工艺段主要包含：1、工业园区污水改造的提标，一级A 或一级B提标至地表IV，COD从60或50mg/L左右提标到30mg/L以下。2、工业园区污水深度处理，生化工艺段后端，COD从150mg/L左右降解 至50mg/L甚至30mg/L以下。
三段式UV/O3/H2O2光催化高级氧化技术是非常适合工业园区废水深度处理的高级氧化技术，有大量的成功运行案例。它分为三个处理阶段：预氧化反应段、高级氧化反应段及深度氧化反应段，预氧化反应段主要投加一定比例的臭氧和双氧水，将难降解的大分子有机物分解为易降解的小分子物质便于进一步矿化处理，同时对水体的色度进行强化处理，提高后续光催化的利用效率；高级氧化反应段是投加一定比例臭氧、双氧水和紫外，主要利用UV光催化系统，激发H2O2及O3产生具有极强氧化性的羟基自由基，提高反应速率，将难降解有机物质氧化，发生断链、开环等多种反应，进一步降低COD。深度氧化段是通过投加臭氧、双氧水和紫外，对水体进行强化处理，确保COD出水达标，同时利用UV催化作用，分解水体中残余的O3和H2O2，尤其是H2O2要注意投加量及残余的降解。否则会对COD检测造成干扰。
三段式UV/O3/H2O2高级氧化工艺主要包含臭氧系统、双氧水系统、紫外光催化系统及高级氧化在线监测系统。
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